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      SiC晶圓
      激光退火 | LA
      SiC晶圓激光退火 | LA
      應用領域
      SiC晶圓歐姆接觸制備
      產品特點
      • 國內首家通過量產驗證

      • 成熟穩定、可靠性好

      • 全自主光學系統,LIET專利光學整形技術

      • 綠光、紫外兩種波長可選

      型號LA2515UVLA2540/2550S
      晶圓尺寸6寸、8寸
      光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
      最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
      比電阻接觸率~10-5Ω·cm2
      氧含量控制≤10ppm
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