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      激光誘導結晶
      設備 | LIC
      激光誘導結晶設備 | LIC
      應用領域
      非晶材料的激光結晶及原位雜質激活
      產品特點
      • 全球首創,12寸量產設備

      • 高均勻性的全自主LIET光學系統

      • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

      • nS級精確脈寬控制

      型號LA2540G
      激光波長527nm
      晶圓尺寸12寸
      能量密度調控精度5mJ/cm2
      光斑頂部不均勻性率≤1%
      焦深范圍5mm
      工藝效果一次掃描完成結晶和激活工藝
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