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      激光誘導外延生長設備 | LIEG
      激光誘導外延生長設備 | LIEG
      應用領域
      納米尺度直徑、大深寬比孔內填充非晶材料激光誘導外延生長和void消除
      產品特點
      • 國內首創,12寸量產設備

      • 激光多脈沖高精度合束調控技術

      • 大光斑、高產能

      • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

      型號LA3381G
      激光波長532nm
      晶圓尺寸12寸
      能量調控精度5mJ/cm2
      光斑頂部不均勻性≤1%
      焦深范圍5mm
      工藝效果結晶及void消除
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